潜环评审函〔2021〕94号

潜江市生态环境局

关于武汉新硅科技潜江有限公司年产14700吨电子半导体材料项目环境影响报告书的批复

（项目代码：2019-429005-26-03-013651）

武汉新硅科技潜江有限公司：

你公司《关于审批武汉新硅科技潜江有限公司年产14700吨电子半导体材料项目环境影响报告书的请示》收悉。经研究，对《武汉新硅科技潜江有限公司年产14700吨电子半导体材料项目环境影响报告书》(以下简称《报告书》)批复如下：

一、武汉新硅科技潜江有限公司年产14700吨电子半导体材料项目建设地点位于经济开发区盐化一路西。总投资21060万元，其中环保投资235万元。建设性质为新建。

该项目的主要建设内容为：建设甲类、丙类2个提纯车间等主体工程，丙类罐区、甲类罐区、仓库、灌装房、装卸区等储运工程，消防水池、初期雨水池、事故水池、危险废物暂存间、废水处理池、废气处理装置等环保工程，办公楼、员工食堂等辅助工程利用现有工程。项目建成后，形成年产14700吨电子半导体材料的生产能力，其中50吨/年六氯二硅烷、150吨/年ALD/CVD等前驱体、1000吨/年三氯化硼、5000吨/年正硅酸乙酯、3000吨/年四氯化钛、3000吨/年三氯氢硅、2124吨/年电子级氯化氢、376吨/年电子气体转运及分装。

根据市经信局《关于武汉新硅科技潜江有限公司年产14700吨电子半导体材料项目行业分类的说明》，本项目属于电子专用材料制造，行业代码3985。项目全部生产工艺仅包含精馏、提纯等物理处理工艺，不得包含涉及化学反应的工艺。在全面落实《报告书》提出的各项环境污染防治措施，工程建设对环境的不利影响可以得到有效控制，主要污染物排放总量符合总量控制指标要求的前提下，我局同意该项目按《报告书》所列建设地点、性质、规模及环境保护措施进行建设。

二、在项目工程设计、建设和环境管理中，你公司必须严格落实《报告书》中提出的各项环保措施和要求，确保各项污染物达标排放，并须着重做好以下工作：

（一）加强废水治理。1#喷淋塔废水、3#喷淋塔废水经沉淀处理后循环使用，不外排。生活污水经化粪池处理，初期雨水经收集沉淀处理，2#喷淋塔废水经中和+沉淀+过滤处理，以上废水满足潜江经济开发区工业污水处理厂接管标准后，经由市政管网排入潜江经济开发区工业污水处理厂进一步处理，最终达标排放至汉南河。

（二）严格落实大气污染防治措施。项目有组织废气主要为四氯化钛、三氯化硼、正硅酸乙酯、六氯二硅烷、三氯氢硅、全氢聚硅氮烷、甲基硅氮烷、氯化氢等尾气。氯化氢及分装尾气采取“碱液喷淋”处理后通过25m排气筒排放，确保氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准要求；四氯化钛、三氯化硼、正硅酸乙酯、六氯二硅烷、三氯氢硅、全氢聚硅氮烷、有机聚硅氮烷提纯尾气，各自通过二次液封罐汇集，进入二次冷凝器，二次冷凝器未凝气和储罐尾气汇集，进入喷淋塔用碱液吸收处理，处理后尾气由25米高排气筒排放，确保氯化氢、非甲烷总烃满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准要求，氨气满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准限值；一/三/四甲基硅烷提纯尾气，通过二次液封罐汇集，进入二次冷凝器，二次冷凝器未凝气和储罐尾气汇集，进入喷淋塔用碱液吸收处理，处理后尾气由25米高排气筒排放，确保非甲烷总烃满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准要求。加强厂区生产管理，加强管道、设备维护，确保厂区内无组织非甲烷总烃满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A 表A.1排放限值要求；厂界无组织排放非甲烷总烃、氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）无组织排放标准要求，氨气满足《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）表1二级新改扩建无组织排放标准要求。

（三）加强噪声治理。通过优化平面布置、选用低噪声设备、强化隔声及绿化降噪等措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准限值要求。

（四）各类固体废物分类收集，妥善处理处置。精馏残液、凝缩液、乙烷溶剂由原料供应厂家回收利用。加强危险废物的收集和管理，废分子筛及2#尾气喷淋沉淀池固废的收集和贮存须符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597－2001）及其2013年修改单的规定，建设符合规定的危废暂存间，并委托有资质单位进行处置，不得超期贮存。危险废物暂存间等关键点位应建设物联网监管系统，并与环保部门联网。项目涉及的危险废物收集、运输、转移、处置按照《危险废物转移联单管理办法》、《湖北省固体（危险）废物转移管理办法》要求执行，严禁随意转移、随意倾倒、直接排放。1#、3#尾气喷淋沉淀池沉淀物属于一般工业固废，暂存于一般固废暂存间后由相关单位回收处理。生活垃圾由环卫部门统一收集处理。

（五）严格落实《报告书》提出的环境风险防控措施，健全和完善三级防控体系，建设足够容积的事故应急池和初期雨水收集池，确保事故情况下各类污染物不排入外环境；制定环境风险应急预案，建立环境风险应急联动机制，完善环境风险事故预防和应急处理措施，杜绝环境风险事故发生；加强职工培训，定期开展环境风险应急防范预案演练，提高对突发环境事故的处置能力。

（六）加强施工期间的环境保护管理工作。严格控制施工扬尘、噪声、废水、固体废物对周围环境的影响。

（七）按照国家有关规定设置规范的污染物排放口，落实《报告书》中所提出的监测计划。

三、配合相关部门做好规划控制工作，该项目环境防护距离内不得规划建设居民区、学校、医院等环境敏感建筑物。

四、请市生态环境保护综合执法支队负责该项目施工期和运营期间环境监督管理，请你公司予以配合。

五、根据《排污许可管理条例》要求，你公司应根据最新建设内容，依法申领排污许可证。

六、你公司必须严格执行环境保护“三同时”制度，项目竣工环境保护验收合格后，方可投入正式生产。

七、本批复自下达之日起5年内有效。本批复下达后如该项目的性质、规模、地点和污染防治措施发生重大变动，应当重新报批项目的环境影响评价文件。该项目自本批复下达之日起超过5年方决定开工建设的，应当将该项目的环境影响评价文件报我局重新审核。

八、本批文仅为环境保护行政许可。项目开工建设同时，必须获得其他相关部门意见。

（本审批意见复印无效）

2021年11月5日